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나노소자특화팹, 연간 7천만원 운영비 절감

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작성자 작성일 07-11-08 16:08

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나노 분야의 연구개발 지원을 위해 과학기술부 및 경기도의 지원으로 설립된 나노소자특화팹센터(대표이사 고철기 http://www.kanc.re.kr)는 운영비 절감 활동의 일환으로 유틸리티에서 발생되는 재이용수 활용을 통해 용수 사용량과 폐수 사용량을 줄여 환경보호는 물론 많은 비용 절감효과를 보고 있다고 밝혔다.

나노소자특화팹센터의 경우 클린룸이라는 특수한 환경을 운영하기 위해서는 그에 필수적인 전기, 용수, 가스 등의 사용량이 막대하게 필요한 실정이다. 이에 따라, 센터 팹운영팀에서는 Utility에서 발생되는 재이용수의 활용이라는 아이디어를 통해 용수사용량 및 폐수 발생량을 줄여 환경보호는 물론 많은 비용 절감효과를 보고 있다.

이전에는 초순수 제조를 위한 여러 공정 중 하나인 ‘역삼투(Reverse Osmosis) 처리’ 후 발생되는 농축수를 일부는 화장실 용수로 활용하고 나머지는 폐수처리장에서 처리하여 방류하여 왔다.

이렇게 버려지는 역삼투(RO) 농축수를 재활용하고자 수질 분석을 실시 하여본 결과 보일러, 냉각장치 등의 일반설비에서 재이용이 가능한 것으로 판단되어 2007년 10월부터 개선을 실시하여 약 한달 동안 재이용수 활용을 통한 환경 보호 및 운영비 절감효과를 입증하고 있다.

센터 측에서는 재이용수 활용을 통해 센터에서 사용하는 물의 약 40%인 3,300㎥(1개월 기준) 정도를 절감할 수 있으며, 비용으로는 년간 약 7,200만원 정도를 절감할 수 있을 것으로 기대된다고 밝혔다.

그 외에도 센터는 운영비용 절감을 위해 질소가스절감장치 및 절전활동 등을 통해 년간 1.5억원 이상 절감 효과를 보고 있다. 또한 겨울철에 차가운 외부바람과 열교환을 실시하여 냉수를 생산할 수 있도록 하는 시스템을 구성하여 냉동기 가동에 소비되는 전력비용의 약 4,000만원을 절감하는 등 운영비 절감을 위한 다양한 노력을 기울이고 있다.

※ UPW(Ultra Pure Water) : 초순수 공급장치라고도 하며 반도체 제조공정 中 웨이퍼의 세정 등에 사용되는 고순도의 물을 말함.

※ 역삼투 현상(Reverse Osmosis) : 농도차가 있는 두 가지의 용액을 반투막으로 나누어진 수조 또는 용기에 분리해 놓았을 때 일정한 시간이 경과하면 저 농도 용액의 물이 고농도 용액 쪽으로 이동하여 수위에 차이가 생기게 된다. 이러한 현상이 "삼투"현상이며 이때 발생하는 수위 차이만큼의 압력이 "삼투압"이다. 이러한 상황에서 고농도 용액쪽에 삼투압 이상의 압력을 가하면 저농도 용액쪽으로 물이 이동하게 되는데 이것을 "역삼투(Reverse Osmosis)"현상이라고 한다.

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